文稿派“蒸蒸日上”系列2025303获奖教师代表路新春：在清华大学2024年教师节庆祝大会上的发言

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“日新月异”系列№11303

2024 年 9 月

在清华大学 2024 年教师节庆祝大会上的发言

获奖教师代表路新春

（2024 年9月10 日）

尊敬的各位老师、同学们：

大家好！

我来自机械系，高端装备界面科学与技术全国重点科学实

验室，很荣幸作为获奖代表发言，我发言的题目是“自立自强，

持之以恒，服务国家重大需求”。

我们团队的成果“集成电路化学机械抛光关键技术与装

备”荣获 2023 年国家技术发明一等奖，化学机械抛光是集成

电路制造的五大关键技术之一，难度极高。早在 2000 年我们

团队就开始了抛光原理和工艺的研究，得到了国家自然科学基

金、973 等项目支持，从 2008 年开始得到国家专项的支持，

2013 年在清华大学和天津市支持下成立华海清科股份有限公

司，开始了化学机械抛光装备产业化进程。2014 年研制出国

内首台 12 英寸化学机械抛光商业机型，打破了国际巨头专业

壁垒和产品垄断。从 2015 年我们具有自主知识产权的化学机

械抛光装备进入集成电路生产线至今，解决了集成电路制造中

抛光装备“卡脖子”问题，此外，该项目培养的研究生在国际

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“日新月异”系列№113032024年9月在清华大学2024年教师节庆祝大会上的发言获奖教师代表路新春（2024年9月10日）尊敬的各位老师、同学们：大家好！我来自机械系，高端装备界面科学与技术全国重点科学实验室，很荣幸作为获奖代表发言，我发言的题目是“自立自强，持之以恒，服务国家重大需求”。我们团队的成果“集成电路化学机械抛光关键技术与装备”荣获2023年国家技术发明一等奖，化学机械抛光是集成电路制造的五大关键技术之一，难度极高。早在2000年我们团队就开始了抛光原理和工艺的研究，得到了国家自然科学基金、973等项目支持，从2008年开始得到国家专项的支持，2013年在清华大学和天津市支持下...

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